SMC精密調壓閥，進口SMC精密調壓閥

加速度10G中的小者在X、Y、Z方向各2小時
系列/CAD 使用壓力范圍 (Pa) 使用流體 門尺寸
100G X、Y、Z方向各3次
系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
(閥芯)座部分采用間隙隔膜，
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微粒子數(shù)量大幅降低。
外部端子一起與外殼間2M‰(DC500V兆歐表)
10~500Hz振幅1.5mm和

SMC精密調壓閥，進口SMC精密調壓閥
伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。
(加壓通/彈簧密封) 氮氣、
空氣、惰性氣體等 VCR?
特長 閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。
0~50℃(但未結露)
50V P-P 脈沖寬1μs 能持續(xù)1ns(毫微秒)
外部端子一起與外殼間AC1000V 1分鐘
(*×寬) (mm) 動作壓力
XGT  大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
50×336 0.45～0.6
特長 對于半導體裝置等場合、
適合于負載鎖定室和傳送室
以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。