美國派克減壓閥選型樣本
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產(chǎn)品名稱: 美國派克減壓閥選型樣本
產(chǎn)品型號: PHS520S-02-110V
產(chǎn)品展商: PARKER/DENISON
產(chǎn)品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
美國派克減壓閥選型樣本?
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15 Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥
。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提*了MFC(質量流量控制器）的**，
這對半導體**的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，
美國派克減壓閥選型樣本
的詳細介紹
美國派克減壓閥選型樣本
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15 Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥
。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提*了MFC(質量流量控制器）的**，
這對半導體**的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，
以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提*出色響應。
產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，
·有C和W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2
閥體尺寸·極低粒子數(shù)
·束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性-SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv·出口壓力范圍:-10 psig 到60 psig
·內(nèi)漏率:≤5x 10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
·工作壓力范圍:-40°F至+150°F(-40°℃至+66°C)
·腐蝕性和特殊氣體·半導體工具
這樣大限度減少粒子生成和截留，進—步提*工藝清潔度和吹掃**.
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性
閥體材料為內(nèi)部電解拋光Vericlean”316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不銹鋼。
膜片和閥芯材料為哈氏合金C-22R。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，
使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更*循環(huán)壽命，入口壓力*達250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，
使用質譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩(wěn)定性.
美國派克減壓閥選型樣本
